等離子體被稱為物質(zhì)第4形態(tài)，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機(jī)氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬(wàn)次至5000萬(wàn)次的速度反復(fù)轟擊異味氣體的分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過(guò)多級(jí)凈化，將有害物轉(zhuǎn)化為潔凈的空氣釋放至大自然。

工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過(guò)凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無(wú)害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。

在處理過(guò)程中，當(dāng)有機(jī)氣體進(jìn)入冷離子體反應(yīng)室時(shí)，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室(PRC)。反應(yīng)室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反應(yīng)室獨(dú)立隔開(kāi)。通過(guò)高壓線對(duì)反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。

一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說(shuō)的激進(jìn)和負(fù)荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。

同時(shí)注入環(huán)境或者二級(jí)氣體來(lái)優(yōu)化反應(yīng)室的濕度和溫度登記，與此同時(shí)加入離子來(lái)改善反應(yīng)室內(nèi)的反應(yīng)。這種冷離子體處理方法使有機(jī)氣體在低溫下進(jìn)行“氧化”。